帶你了解GMP凈化車間關于生產芯片的操作
半導體GMP對凈化車間的要求很高,這是一種半導體無塵室,是為了滿足半導體制造工藝需求,GMP凈化車間對環(huán)境離子浮塵、溫度、濕度、振動、靜電控制、AMC(氣態(tài)分子級污染物)控制等都有一定的要求.相對于其他工業(yè)的生產車間,集成電路制造GMP凈化車間有靜電控制嚴格、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
GMP凈化車間進行操作時的一般管理規(guī)定:1. 處理芯片時,必須戴上防靜電手套,用干凈的鑷子夾住芯片。 不要用手指或其他東西碰芯片。 如晶片受到接觸污染,必須先清洗干凈,才可再次使用:
(1)鑷子前端如有觸碰或掉落地面的話,必須清洗干凈方可使用,且不要用紙巾或布擦鑷子。
(2)清洗芯片之前,如果碰了手指、地面或其他非潔凈物體,必須重新清洗。
(3)把芯片放置于一個石英舟上,準備進爐管時,若發(fā)現(xiàn)自己所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片技術上有顯眼由鑷子所引起的污染。
2.芯片必須被放置在盒中,其被存儲在所述蓋的一預定位置,因為它是不被暴露。
3.避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,請?zhí)貏e需要注意,防止出現(xiàn)上述動作產生,若芯片上沾有大量纖維屑時,用氮氣槍噴除污物。
5. 如果芯片上覆蓋著氧化層,在送到黃光室之前不要用鉆石刀切割做出刻記。
6.當GMP凈化車間操作,無論是否戴手套,洗手不能放進水槽。
7.在GMP凈化生產車間進行使用一些化學站或烤箱處理芯片時,務必將導致芯片置放于鐵弗龍晶舟內,避免使用塑料盒。
8.安排在石英舟的芯片,芯片掉在地上,必須重新清洗手清理芯片芯片,然后進入氧化爐。
9.請勿使用觸摸控制芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片進行污染,必須重作清洗。
10.手套,廢紙等零碎的東西,請勿留置于操作臺,手套如果燒毀,撕毀或多種纖維質的變化時必須更換。
11.非經指示,絕不可開啟GMP凈化車間內不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。
12.溶液出現(xiàn)氣味怪怪的或不正常的顏色,聲音等,請通知相關人員。
13.總是使用凈化車間清潔筆和無塵本做筆記,一般紙張與鉛筆不得攜入。
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