潔凈工程的氣流是左右潔凈室性能的重要因素
2020-06-10 來(lái)源： 點(diǎn)擊：1750
潔凈工程的主要作用是控制工程產(chǎn)品（例如硅芯片等）在與大氣的溫度和濕度清潔度的接觸，從而使產(chǎn)品能夠以良好的空間環(huán)境來(lái)生產(chǎn)，制造，我們稱(chēng)此為潔凈室空間。根據(jù)國(guó)際慣例，主要是無(wú)塵凈化車(chē)間水平由比每個(gè)劃分標(biāo)準(zhǔn)立方米空氣的粒徑較大的粒子的數(shù)量決定。所謂的無(wú)塵不是100％干凈的任何灰塵，而是控制在單位一個(gè)非常小的量。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)與塵埃顆粒的標(biāo)準(zhǔn)線相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造來(lái)說(shuō)，甚至灰塵一點(diǎn)點(diǎn)就會(huì)有非常大的負(fù)面影響，因此生產(chǎn)光學(xué)產(chǎn)品在灰塵凈化度的必然要求。
在另一方面要實(shí)現(xiàn)的潔凈室的潔凈度的穩(wěn)定效果，空氣流保持均勻也是一個(gè)重要的因素，如果不能維持均勻的空氣流，指示風(fēng)速是不同的，特別是在壁面，所述壁將延長(zhǎng)渦氣流發(fā)生，此時(shí)高潔凈度其實(shí)很難。
垂直層流式學(xué)習(xí)方向要保持穩(wěn)定均一以及氣流組織必須：（a）吹出面的風(fēng)速具有不可有速度上的差異；（b）地板系統(tǒng)回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速影響不可有速度上的差異。速度要求過(guò)低或過(guò)高（0.2m/s，0.7m/s）均有出現(xiàn)渦流之現(xiàn)象已經(jīng)發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般工業(yè)潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
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