潔凈工程的氣流是左右潔凈室性能的重要因素
潔凈工程的主要作用是控制工程產(chǎn)品(例如硅芯片等)在與大氣的溫度和濕度清潔度的接觸,從而使產(chǎn)品能夠以良好的空間環(huán)境來生產(chǎn),制造,我們稱此為潔凈室空間。根據(jù)國際慣例,主要是無塵凈化車間水平由比每個劃分標(biāo)準(zhǔn)立方米空氣的粒徑較大的粒子的數(shù)量決定。所謂的無塵不是100%干凈的任何灰塵,而是控制在單位一個非常小的量。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)與塵埃顆粒的標(biāo)準(zhǔn)線相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造來說,甚至灰塵一點點就會有非常大的負面影響,因此生產(chǎn)光學(xué)產(chǎn)品在灰塵凈化度的必然要求。
潔凈系統(tǒng)工程的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是0.25~0.5m/s之間,此氣流運動速度屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機器等的動作而干擾技術(shù)趨于混亂、雖提高工作風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,將影響企業(yè)運轉(zhuǎn)管理成本的增加,所以我們應(yīng)在充分滿足設(shè)計要求的潔凈度水準(zhǔn)之時,能以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),以達到可以適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達到一種經(jīng)濟性分析效果。在另一方面要實現(xiàn)的潔凈室的潔凈度的穩(wěn)定效果,空氣流保持均勻也是一個重要的因素,如果不能維持均勻的空氣流,指示風(fēng)速是不同的,特別是在壁面,所述壁將延長渦氣流發(fā)生,此時高潔凈度其實很難。
垂直層流式學(xué)習(xí)方向要保持穩(wěn)定均一以及氣流組織必須:(a)吹出面的風(fēng)速具有不可有速度上的差異;(b)地板系統(tǒng)回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速影響不可有速度上的差異。速度要求過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有出現(xiàn)渦流之現(xiàn)象已經(jīng)發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般工業(yè)潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。